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六氟化硫（SF6）气体由法国两位化学家Moissan和Lebeau于1900年合成，它以其优异的绝缘和灭弧性能，在电力系统中得到广泛应用。虽然在常态下，SF6气体是一种无色、无味、无毒的惰性气体，但在高压电弧的作用下，这种气体会发生分解，遇到水份后还会产生一些剧毒物质，如氟化亚硫酰（SOF2）、四氟化硫(SF4)、二氟化硫(SF2)等，类似这些剧毒物质即便是微量也能致人非命。
当前，SF6气体在中、高压设备中的大量使用，其安全性已受到人们的普遍关注。针对SF6密度为空气5倍，泄漏后易聚集低层空间，造成缺氧问题，严重时可使人窒息。根据SF6气体对人员的威胁等问题，有关部门已制订了一系列相应的行业安全规程，规程中明确规定了人员在进入SF6配电装置室时必须先通风15分钟，对空气中的SF6气体浓度及氧气含量进行监测，在SF6配电装置的低位区应安装能报警的氧量仪和SF6气体报警仪。
SF6气体泄漏报警系统，正是按照这些行业安全法规而开发设计的一种智能化在线监测系统。
六氟化硫检测仪
纯净的SF6气体虽然无毒，但在工作场所要防止SF6气体的浓度上升到缺氧的水平。SF6气体的密度大约是空气的五倍、SF6气体如有泄漏必将沉积于低洼处，如电缆沟中。浓度过大会出现使人窒息的危险，设计户内通风装置时要考虑到这一情况。
在电弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在电力系统GIS等应用SF6的工作场所，要加装SF6气体泄漏监测设备，SF6气体监测的主要方法有一下四种：
1）电化学技术（TGS830、TGS832）费加罗传感器或卤素气体传感器。
电化学技术的原理是被检测气体接触到200°C左右高温的催化剂表面，并与之发生相应的化学反应，从而产生电信号的改变，以此来发现被检测气体。电化学技术其成本低、寿命长、结构简单，可以连续工作的特点。
2）高压击穿技术。
电击穿技术是从SF6在电力上的典型应用——作为绝缘气体应用在GIS开关柜中演变而来的。其工作原理是根据SF6气体绝缘的特性，从置于被检测空气中的高压电极间电压的变化来判断空气中是否含有SF6气体。因其结构相对简单，成本低，检测精度相对高的特点。
3）红外光谱技术（IAC510）
红外光谱吸收技术(又称激光技术）的原理是SF6作为温室气体，对特定波段的红外光有很强烈的吸收特性。红外光谱技术的特点是成本高，结构复杂，灵敏度高，不受环境的影响和干扰，对环境的温度和湿度的变化所带来的检测误差很小，由于其是采用主动抽取测试点气体的原理，带来的效果是发现泄漏早，反应迅速。同时系统结构对工程实施中的布线也带来了很大的方便。
4）电子捕获ECD原理
电子捕获检测器（electron capture detector)，简称ECD。 电子捕获检测器也是一种离子化检测器，它是一个有选择性的高灵敏度的检测器，它只对具有电负性的物质，如含卤素、硫、磷、氮的物质有信号，物质的电负性越强，也就是电子吸收系数越大，检测器的灵敏度越高，而对电中性（无电负性）的物质，如烷烃等则无信号。
法规信息编辑
《化学危险物品安全管理条例 》（1987年2月17日发布），《化学危险物品安全管理条例实施细则 》（化劳发[1992] 677号），《工作场所安全使用化学品规定》 （[1996]劳部发423号）等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；
《常用危险化学品的分类及标志 》（GB 13690-92）将该物质划为第2.2 类不燃气体；《车间空气中六氟化硫卫生标准》（GB 8777-88），规定了车间空气中该物质的容许浓度及检测方法。